Physik Instrumente（PI）位移臺

納米定位壓電彎曲平臺

微型舞臺

線性平臺

線性執(zhí)行器

旋轉臺

XY平臺

PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個軸上以亞納米精度進行定位和掃描，包括，傾斜和偏航運動。版本范圍從緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術的方位工具。應用包括樣品調(diào)整，技術，光學計量，光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準，并隨測量記錄一起提供。

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

應用領域

• 掃描顯微鏡
• 共聚焦顯微鏡
• 掩膜/晶圓定位
• 表面測量技術
• 納米壓印
• 顯微操作
• 圖像處理/穩(wěn)定
• 納米定位具有很高的平面度和運動平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復雜的真空應用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的除氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r（取決于帶寬）主動補償（主動引導）軸之間的不良串擾。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

應用領域：

• 六腳架支持工業(yè)機器人
• 科學儀器
• 半導體技術
• 顯微鏡檢查
• 硅光子學
• 技術
• 材料研究
• 機械工業(yè)

• 更多其他產(chǎn)品的型號如下
• Physik Instrumente  M-235.5DG
• Physik Instrumente  FH430A69-05+197
• Physik Instrumente  S-330.2SH
• Physik Instrumente  PI E-727.3SDA
• Physik Instrumente  PI E-727.3SD
• Physik Instrumente  P-561.3CD
• Physik Instrumente  E-727.3CD
• Physik Instrumente  P-562.6CD
• Physik Instrumente  E-712.6CD
• Physik Instrumente  S-330.2SL
• Physik Instrumente  E-501.00
• Physik Instrumente  E-503.00S
• Physik Instrumente  E-509.S3
• Physik Instrumente  E-518.I3
• Physik Instrumente  P-616.3C
• Physik Instrumente  E-727.3CD
• Physik Instrumente  E-873.1AT
• Physik Instrumente  H-825.D2A
• Physik Instrumente  C-887.52
• Physik Instrumente  E-841.55
• Physik Instrumente  E-831.05
• Physik Instrumente  E-841.55
• Physik Instrumente  N-565.160
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